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第八百九十五章 濕法蝕刻

更新時間:2024-06-08  作者:周碩
“這是你們設計的方案?”

王中軍將手里的文件翻的嘩嘩作響,邊看邊忍不住皺起了眉頭來。

“用腐蝕劑的各向同性來制作探針,你們考慮過這里面的工作量嗎?”

“使用可控制侵蝕速度的硝酸和氫氟酸,我們計算過可能的配比,至少要做上千組實驗。”

鐘大華的聲音沒有多少波動,昨晚吳牧提出這個思路之后,他們倆就已經通過代理公司搜集了相關的信息,但情況卻有些出人意料。

在美國的數據庫里,并沒有與這個思路相關的技術。

事實上從八十年代起,濕法蝕刻在美國就已經屬于落后技術了。隨著制程技術的提高,現在業界主流已經是干法蝕刻更勝一籌,因為干法蝕刻的各向異性更好,芯片的成品率自然更高。

也就是說在濕法蝕刻這個路線上,業界并沒有走到盡頭就更換了路線。

美國人技術比較先進,八十年代之后制程技術發展到微米級,為了克服濕法蝕刻的缺點,應用材料公司直接推出了干法蝕刻的PVD技術,干脆另開爐灶了!干法蝕刻是用等離子體直接撞擊晶圓,從化學反應變成了物理反應,干脆沒有各向同性的問題了。

當然,后來干法蝕刻的物理性蝕刻也不能滿足需求,于是業界又把濕法蝕刻撿回來了。但那也是利用離子蝕刻機將化學腐蝕劑離子化之后,在PECVD基礎上搞的濕法蝕刻。

各向異性的問題,早在八十年代美國人就解決了。

如今鐘大華和吳牧想要走回頭路,其實是挑了一條充滿荊棘的小路在走。

想要參考、借鑒,可根本就沒有先例可循。這樣一來,難免讓人有些心理打鼓了。

不過鐘大華臉上根本看不出懷疑和忐忑,面對上千組實驗需要的工作量,仿佛就像在說下班去哪里買菜一樣。

“上千組實驗?我看可不夠!”

王中軍搖了搖頭,哼了一聲:“這是你們計算配比和時間控制需要的實驗數量,但是你想過沒有,我們要的不是一根普通的針尖,而是一根50納米寬的針尖!除了時間、配比以外,甚至一丁點微弱的空氣流動,都能讓你的實驗結果出現偏差。除此之外,溫度、濕度、空氣雜質,這些還是能想到的干擾,真正做實驗的時候,你會發現更多想都沒想過的干擾源會出現……這些都必須一一排除,一千組實驗你能保證出結果嗎?”

“我保證……不了。”

鐘大華的聲音仍然沒有起伏,冷靜的說道:“但硅探針本來就沒有先例,甚至是原子力顯微鏡探針,我們自己都還不能生產。可這個項目只給了我們兩個月時間,根本沒有按部就班實現的可能。”

“說實話,我認為吳牧這個思路簡直是為我們量身定做。濕法蝕刻做探針雖然沒有成熟技術可以借鑒,但各種腐蝕劑的性能數據還是很豐富的。這個思路最大的優勢,就是不需要過往的基礎,非常適合技術跳躍式發展。不管是亞微米還是微納米,50納米甚至是10納米,甚至有一天1納米的探針,只需要加大投入就一定能摸索出實現的參數。”

“我承認我們有賭的成分。”

“這個路線成功了,我們可以拋開當前的技術路線,走一條完全不同的納米光柵制造體系。”

“它確實沒有人實現過,但我們講科學,它從理論上有成功的可能。”

“而且這種可能,也只有我們新科能夠實現。”

“哦,這怎么說?”王中軍其實對這個思路還是滿意的,確實很難,但有實現的可能。

但要說只有新科能實現,這又憑什么啊?憑胡文海長得帥嗎?

“這方面我是有依據的。”

鐘大華說的信誓旦旦,王中軍明顯興趣更大了。

“在搜索相關文獻的時候,我們發現了一個情況。實際上和美國數據庫比起來,方案中需要的數據反而更多來自研究院的數據中心。”

“各種腐蝕液配比的研究資料,近十年來反而是我們自己的研究院數據庫更多。”

“其實這并不難理解,因為我們知道,現在集成電路的制程已經進入了亞微米級,濕法蝕刻早就已經不適應需求了。但在功率半導體上,制程卻并不是越小越好。事實上IGCT的制程基本都在3微米以上,IGBT的制程也是在1到3微米之間。”

“在業界普遍升級干法蝕刻之后,新科作為功率半導體的主要生產商,實際上仍然在大量的采用濕法蝕刻,并且持續多年在濕法蝕刻技術上投資改進升級。”

“由此積累下來的生產和實驗資料,早就已經超出了國際先進水平。”

鐘大華和王中軍并不知道,這就是胡文海帶來的超前規劃紅利了。591網

IGBT是功率半導體,制程上不僅是不需要跟隨數字半導體的制程,甚至更小的制程對性能并不更友好。后世半導體制程都進入10納米以內了,很多IGBT的制程仍然只有0.5微米,這你敢信?

而后世中國的半導體產業,同樣仍然有濕法蝕刻的一席之地。因為市場上絕大多數的芯片,實際上并不需要最先進的制程。像絕大多數低成本IC、分立器件和微電子機械設備,仍然還是采用濕法蝕刻的。

濕法刻蝕雖然做不了精細活,但自己也是有優點的。比如說特定的腐蝕劑可以起到專門腐蝕某種材料的作用,只腐蝕材料而不傷害光刻膠、不傷害下層已經形成的結構,這種選擇性刻蝕的特性,讓它在粗制程下安全性更好,確保不會損傷襯底。

這幾年在新科的持續投入下,國內對濕法蝕刻技術已經吃的差不多了,也因此積累了超過業界水平很多的數據資料。

正如鐘大華所說,如果要走濕法蝕刻的路線,那新科還真是得天獨厚。

王中軍最后又看了一眼手上的資料,重重的點了點頭。

“行,你等著,我去跟倪院長匯報一下。”

嘎吱一聲,一輛軍車在半導體所大樓前的廣場上停了下來,它的后面跟著的是一連串的大客車、小轎車,甚至是吉普車。

“下車,整隊!”

一群戰士從軍卡的后面跳了下來,迅速的排成了整齊的隊伍,一個中隊長這才轉頭向王中軍跑了過去。

“是王中軍同志嗎,我是武警支隊三中隊的,我姓張。”

“幸不辱命,這是你們點名指定的其他研究單位的研究員,總算是如期安全送達了!”

王中軍收回看向車隊的目光,和他握了握手:“張隊長,你們來的真快,辛苦你了!”

“不辛苦王同志,接下來我們還有很久時間可以相處,不需要這么客氣的。”

“那我們接下來的安全,就全托付給張隊長了。”

王中軍的方案報上去,作為所里目前最重要的項目,當然會得到無條件的支持。

實驗多、時間緊,光憑半導體所,想在兩個月時間里完成實驗,幾乎是不可能的事情。要搞攻關模式,從外面調人過來分擔工作,保密問題就不能不重視。

張隊長和他的支隊不僅是保護他們的安全,同樣也有監視和隔離的責任。

在當前的局勢下,光柵項目至關重要,誰也不敢冒一丁點的危險。

而跟隨他來的這些人,也都是王中軍親自點將,從繡城附近各大研究所抽調的骨干人員。這么一大批人突然抵達,半導體所的后勤人員簡直忙瘋了。

不過這顯然是物有所值,很快這些人就分配了實驗任務,然后帶著從繡城各大學抓來的研究生,開始有條不紊的工作起來。

有人、有方案,幸運的是在這個思路下實驗條件要求還不算特別苛刻。半導體所里無塵室是標配,其他的實驗室項目紛紛給光柵項目讓路,并且更多的原子力顯微鏡也被迅速送了過來。

原子力顯微鏡在國內還是稀罕貨,好在這東西不是瓦森納協定的禁運物資,新科披個馬甲去國際上采購一圈,等實驗做完了還能低價二手處理給國內其他研究所。

今天你借我一臺,明天大不了我還你兩臺。

這樣人、財、物迅速集結,半導體所儼然就是要打一場小型的科研攻關戰。

苦雖然是苦了點,但知道、不知道內情的研究人員們卻都沒有什么抱怨的聲音。家里有組織上照顧,兩個月而已,做起實驗來一晃神的功夫就過去了。

而這兩個月以來,國際局勢的變化又可以說是給所有人都上了一課。

不僅是落后就要挨打,而是不是第一就要挨打!要說國內沒有因此憋著一口氣,那是怎么都說不過去的。

想給美國人一個教訓,想大聲的對他們說“NO!去尼瑪的!”

帶著這樣的情緒,時間從盛夏進入了初秋。十月酒泉的氣溫最冷已經到了零下,但就在原本應該夜深人靜的時候,一支支從全國各地趕來的車隊,卻在這里熱火朝天的相遇了。

不論多么凜冽的寒風,竟然都無法熄滅他們的熱情!

王中軍從車上跳下來,緊緊抱著手中的盒子,眼前看到的便是這樣一番景象。

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