1980年左右,中科院半導體所開始研制jk1型半自動接近式光刻機,于1981年研制成功兩臺樣機。
而由于美國在50年代就已經擁有了接觸式光刻機,相比之下,中國落后了將近20年,同時國外從1978年開始轉向分步重復投影光刻,此時中國科學界也認識到,分布投影光刻技術的優越性,但限于國內工業技術差難以實現。
在1978年世界上第1臺dsw光刻機問世不久,機電部第45所,就開始跟蹤研究分步式光刻機,對標美國的4800dsw,1985年研制出了bg101分部光刻機樣機,并通過電子部技術鑒定,認為達到了美國同類產品水平,而當時采用的是436納米g線光源。
這也就意味著1985年的時候,中國在高科技領域與國外的差距拉近到了7年左右,也就是達到了美國1978年的水平。
可以看出國產光刻機。研發在上世紀70年代后期起不直到80年代,后期技術一直在推進,并且取得了一定的代表性成果。
然而到了80年代中后期,中國卻因為技術封鎖以及買辦思想盛行,造成了光刻機的落后。
當時的巴統協議不批準向中國出售先進的設備,國外工藝線已用0.5微米的設備時,卻只對我國出口1.5微米的設備,整整差了三代,此外8組還規定對我國出口的光刻機鏡頭na必須小于0.17,既只能有二微米以上的分辨率。
所以說目前段云從日本東芝引進的三微米芯片制程生產線,是正好符合巴統協議要求的,而目前日本最先進的0.9微米制程的芯片生產線,是巴統協議嚴格禁止對中國出口的。
段云如果想制作出一微米制程的芯片,目前是不可能從國外直接買到現成設備的,只能靠國內研發。
因為買辦思想的盛行,當時中國的光刻機雖然技術領先,但是也遇到很多的問題,因為搞研發就需要有很多的資金投入,但這些資金投入之后,有一些技術上的問題,在當時又不能夠很好的解決,因此看到國外很多先進的設備之后,國家也就放棄了,對設備的研發變成了購買。
這樣最終就導致了中國的光刻機研發上完全停滯,很多搞光刻機研發公司因為沒有資金的支持就變得岌岌可危,最后公司也倒閉破產。
段云如果想制作出世界領先的nand閃存芯片,并且在閃存芯片領域保持長期的優勢地位,那就必須要有更先進的光刻機。
在摩爾定律下,每18個月集成電路上可容納的晶體管數目就會增加一倍,這就需要生產芯片的光刻機保持迭代。
段云可以選擇投資開發國產光刻機,但投入的資金比較大,而且周期也比較長,有點遠水解不了近渴。
經過一番思考后,段云決定做兩方面的準備,一方面就是和國內的科研院所相關機構合作,共同開發工作機。
另外一方面就是要想方設法從國外直接購買作為先進的一微米制成光刻機,解決當前的芯片生產線升級問題。
但是從哪一家購買光刻機卻成了一個問題。
后世的人一提起光刻機,很容易就想起了荷蘭的阿斯麥公司,而在1988年的時候,阿斯麥公司在光刻機領域并沒有多大的名氣,而且這家公司幾乎瀕臨破產,甚至連發工資的錢都沒有了。
早年的阿斯麥誕生于飛利浦物理實驗室和飛利浦科學與工業部,城市一群天才科學家所說的玩具。
20世紀70年代荷蘭經濟衰退,出現經營危機的飛利浦喪失了不斷的興趣,想要將投資了上億美元的阿斯麥實驗室剝離出去。
最開始項目負責人找了三家公司洽談光刻機的合作事宜,最終都以失敗告終。
直到1984年的時候,s&i和asm成立合資公司阿斯麥,雙方各占50股份。
但公司成立之初,這家合資公司除了十幾臺光刻機庫存,賬戶上只有30萬美元。
此時全世界光刻機市場共有10多個玩家,既有占據較大市場份額的美國公司,也有虎視眈眈的新秀,日本尼康和佳能,阿斯麥在這一領域完全墊底,市場份額可以忽略不計。
所以從一開始的時候,就沒人看好阿斯麥公司。
而在80年代,日本尼康迅速崛起,相較于美國光刻機龍頭gca,尼康的光刻機性能更穩定,1982年的時候,美國gca還在日本市場占據95的市場份額,然而到了1983年,已經降低到45,絕大部分市場由日本尼康獲得。
包括段云現在從東芝公司引進的光刻機,也正是由尼康公司生產的。
在1984年至1987年三年里,整個光刻機行業正遭遇洗牌,1986年,10家光刻機公司,有三家退出市場,剩下的7家供應商也在接下來幾年陸續出局,昔日的光刻機龍頭美國gca瀕臨破產,已經到了,要用及所持有的蔡司股份來支付蔡司鏡頭費的地步了。
而這個時候的阿斯麥公司也是舉步維艱,1986年本預定了阿斯麥一半訂單的美國半導體公司amd,在最后關頭撕毀合同,讓阿斯麥創記錄的虧損超過1400萬美元。
次年,光刻機行業低價傾銷,產能過剩,阿斯麥還不得不降價促銷產品,利潤又受到影響。
1986年1987年兩年分別虧損2500萬美元和2300萬美元。
現如今進入1988年,阿斯麥公司用完了最后2500萬美元的全部信用額度,公司沒有發工資的錢,財務總監都要跑到飛利浦乞討,要來一些錢給工人發工資。
其實現在這個時候的阿斯麥,距離死亡只有一線。
以阿斯麥的技術,完全可以生產出質量很好的一微米制程的光刻機,而段云手里還握有1500萬美元的外匯,但是受限于巴統協議,段云不可能從國外直接購買到先進光刻機,而阿斯麥也不可能將這種先進的光刻機產品賣到中國。
可是眼下阿斯麥面臨困境,公司正走在破產邊緣,段云認為這是個好機會,說不定阿斯麥會為這筆生意鋌而走險。
這就好比一個即將溺死的人,看到有人遞來一根長滿尖刺的荊棘,明知道有可能會受傷,但還是會冒險抓住……
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