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第三百八十五章 技術難題

更新時間:2019-12-04  作者:鴻塵逍遙
第三百八十五章

“這邊的這臺是高密度等離子刻蝕機,這臺是磁控濺射系統,還有這個,是掃描電子顯微鏡,這些不用說你們應該都認識。”

實驗室內除了那臺MOCVD之外,其余全部是一些在實驗室內常見的儀器設備。

不用說顧律,連陳默都可以一眼認出來。

陳默的畢業設計課題是研究寬禁帶半導體的禁帶寬度和其具體物理化學性能的關系。

并且嘗試將兩者的關系用函數或者其他的數學語言表達出來。

除了需要GaN寬禁帶半導體這個基礎的材料之外,陳默還需要用實驗內的一些設備,用來收集數據。

掃描電子顯微鏡,探針臺!

這是陳默需要借用的兩臺設備。

剛巧,當張主任帶著掃描電子顯微鏡所在的位置時,發現有一臺顯微鏡是空著的。

張主任拍拍陳默的肩膀,用手指了指那個空位。

“去那臺掃描電子顯微鏡那邊,我教你一下這臺儀器的具體操作細節。”

一臺掃描電子顯微鏡的造價很高昂。

陳默之前在浙大讀研的時候操作過幾次。

但使用掃描電子顯微鏡觀察寬禁帶半導體還是第一次。

顯微鏡的一些基礎的參數設置并不清楚。

這就需要張主任來指導一番了。

張主任一邊操作著一邊為陳默講解,“在觀察GaN寬禁帶半導體的時候,我們一般采用的場深是3.2納米,作用提及選擇0.85納米的厚度,還有放大率……”

掃描電子顯微鏡可以通過對二次電子、背散射電子的采集,可得到寬禁帶半導體微觀形貌的信息。

而通過對x射線的采集,可得到寬禁帶半導體化學成分的信息。

是非常實用的一臺設備。

在張主任的教導下,陳默上手的很快。

幾分鐘的功夫就可以獨自操作完成。

“那你在這邊繼續熟練一下,探針臺那邊還有人再用,待會兒我再帶你去操作一下。”張主任拍拍陳默的肩膀,然后起身走到正在旁邊的高真空電子束蒸發機前站著的顧律。

“你這位學生悟性不錯啊!”張主任笑著夸贊道。

顧律微微淡笑,“畢竟是個博士生,這點簡單操作要是需要學很久那才不正常。”

顧律略過這個話題,指著面前的這臺高真空電子水蒸發機,笑著問道,“張主任,這臺設備你們也改良過了?”

“真的是什么都瞞不過你。”張主任摸摸自己的大光頭,哈哈一笑,“這臺設備和那塊MOCVD一塊改裝的,顧律,我和你說……”

張主任又開始滔滔不絕的給顧律介紹這臺設備的具體改裝細節。

顧律邊認真聽邊頻頻點頭。

這些知識,是他之前很少接觸過的。

他只知道這些設備的原型機內部是什么構造,運行機理是什么。

但面對這種改裝后的設備,就雙眼一抹黑了。

就在張主任在這邊和顧律聊天的時候,一位研究員拿著一個文件夾腳步匆匆的向張主任走過來。

“張主任。”

研究員戴著圓框眼鏡,地中海發型,由于戴著口罩,顧律判斷不出具體的年紀。

但聽聲音,應該是三十多歲。

“哦,是方教授啊!”張主任視線落在那位研究員身上,笑呵呵的為顧律介紹道,“這位是我們半導體的研究中心的方慶教授,主要負責半導體摻雜調控這一部分的研究內容。”

“方教授,給你介紹一下,這位是隔壁數學院的顧律顧教授。”

“你好你好!”

“久仰久仰!”

兩人簡單的握了個手。

“方教授,你過來找我有什么事嗎?”張主任笑呵呵的開口問道。

“哦。”方教授把手中的文件夾遞給張主任,沉聲開口,“張主任,最新一次的測量結果出來了。”

張主任結果文件夾,打開后掃了一眼,眉頭緊緊皺起,“還是不行嗎?”

方教授苦笑著搖搖頭,“還是不行,我們還是沒有找到證據證明,C雜質在GaN中的晶格位置。”

“唉!”張主任聽后長嘆口氣,“這么久的努力,原來都是做了無用功啊!”

顧律在一旁看著長吁短嘆的兩人,猶豫了一下開口問道,“張主任,你們是遇到了什么難題了嗎?”

張主任沒有隱瞞。

“準確的說,不是我們研究所遇到了什么難題,而是整個寬禁帶半導體領域都遇到了一個難題。”

張主任開始為顧律講述起這個難題的詳細情況。

在目前的半導體領域,摻雜調控是氮化物半導體材料和器件發展的關鍵科學和技術問題。

通過C摻雜獲得半絕緣GaN是當前研制GaN基電子器件的主流方法。

但作為IV族元素,C雜質在GaN中具有兩性特征,既可替代N原子,也可替代Ga原子,或者與其他雜質和缺陷形成復合體,使GaN中C的摻雜機理非常復雜,成為近年來氮化物半導體電子材料和器件領域關注的焦點問題之一。

所以說,確定C雜質在GaN中的晶格位置是一個相當亟待解決的難題。

燕大的半導體研究中心作為GaN寬禁帶半導體領域國內知名研究機構之一,理所當然的向該難題發起了沖擊。

但結果……

就如同剛剛顧律所見到的那樣,測量結果失敗,該技術難題依舊存在。

讓張主任和負責這部分的方教授唉聲嘆氣。

顧律聽后,摸著下巴,一直沉默不語,在沉思著什么。

足足幾十秒后。

顧律視線直視著張主任,苦笑一下開口,“張主任,要是我說,這個難題我可以解決,你相信嗎?”

張主任很顯然的懵逼了一下。

因為顧律的這句話明顯不在張主任的意料之中。

或者說……

張主任沒想過這句話會從顧律口中說出來。

張主任足足愣了有十幾秒,才狠狠咽口唾沫,開口問道,“顧律,你是說真的,你真的有辦法?”

“五成把握吧。”顧律沒有打一個十足的包票。

因為他也不確定那個辦法,是否可以適用于寬禁帶半導體領域。

五成把握!

這個數字在張主任看來已經很高了。

是值得一試的。

只不過,從顧律這樣一個數學家口中說出這句話,總是有一種不靠譜的感覺。

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