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第260章 步步驚心(2)

更新時間:2021-04-02  作者:冰城之光
成永興從奉天回到春城不久,暑假就結束了。整個假期,他根本就沒有在家呆幾天,差不多都是在奉天度過的。

而他的老鄉同學們,都耀武揚威的過足了癮。

衣錦還鄉,這個詞的含義,被大家深刻的體會到了。

當然,這里面收獲最大的,應該還是年紀最小的成永興吧。隨著口口相傳,慢慢的,他的作用也被同學們和家長們所認知。

成永興甚至在幾位女同學的家長眼里,看到了不對勁的眼神。反而是她們的女兒,還是懵懂。

返校的時候,大家還是成群結隊,共同出發。

這幫青年人,這次離鄉和以往不同,他們普遍對未來充滿了憧憬。年輕人正是自信心爆棚的年齡,再被家鄉父老一頓吹捧,趕英超美,只在等閑!

大家的包裹里,這次普遍裝的都是食物。他們即使有什么要洗的衣服,也是到成永興那里去解決掉,沒有人背臟衣服回來了。

所以,在回校的列車上,小桌子上擺滿了吃的。大家一邊坐車,一邊吃零食。等到了學校,一點都不餓。

回到了學校,成永興要做的第一件事情,就是整理資料,然后準備申請專利。

在奉天,在科儀廠科研人員的全力配合下,他又迅速攻破了兩個重要節點。

科儀廠作為半導體設備的定點廠,產品雖然并不是全系列,但總的來說,條件要比工大的實驗室好很多。

另外,廠里的加工手段完備,一些小修小補小改,方便得很。

要不是因為開學,成永興甚至覺得,在科儀廠做研究,項目的進展完全可以會更快一些。

第三關,兩步法工藝的改良。

這里,先談一下藍光LED的材料選擇。

合適的藍光LED材料有三類,一類是

(碳化硅)材料,一類是

ZnSe(硒化鋅)材料,另外一類是

GaN(氮化嫁)材料。

由于SiC從物理原理上,就限制了其發光效率不可能高,所以人們很自然地把注意力轉向了ZnSe

基材料。

GaN的合成十分困難,生長得到的材料具有很高的線缺陷(位錯)密度,按照傳統半導體物理的認識,GaN

這么高的位錯密度不可能發強光。

因此,世界上研究藍光LED的科學家中,選擇ZnSe的超過了一萬人,而選擇GaN的不到10人。

為了解決GaN的合成問題,剩余的這十名科學家,分別開始了獨自的嘗試。

赤崎教授,選擇了晶體結構和GaN接近,但是晶格常數失配的藍寶石作為襯底材料,進行GaN的異質外延(生長)。

由于晶格失配,GaN外延層和藍寶石襯底之間存在失配應力,應力的釋放會導致GaN內部產生大量缺陷。這樣的材料無法應用于器件。

但這個問題,在1985年,被赤崎教授的弟子,天野浩解決,這就是著名的兩步法。

步驟是,在藍寶石襯底上先生長一層AlN緩沖層,再將溫度升高生長GaN。

由于緩沖層釋放了

和藍寶石之間的失配應力,這種“兩步法”生長技術使得

的晶體質量顯著改善,滿足了器件制作的基本要求。

這個方法的發現,差不多歷時前后5年,師生兩個人接力,才算搞定。

按理說,一般的科學研究工作者,進行某項研究的思路,都是踏著前人留下的足跡前進。尤其是沒有達到終點之前。

因為改變前人,甚至推翻前人的工作,完全是得不償失。

例如兩步法的發現,就用時差不多四五年時間。換個人來研究,是不是也要準備個幾年時間?

這怎么選擇,不是一目了然嘛!

但大俠就是大俠,中村拿到這個論文后,不是繼續往下研究,而是放飛自我。

他決定試試在緩沖層中采用GaN而非AlN的方法。

具體思路是在低溫生長的非結晶狀態的GaN膜之上,在高溫條件下生長出GaN單晶膜。只要這個取得成功,就可以制出與在底板上直接生長單晶GaN膜相同的構造。

按照這個思路,中村進行了嘗試。

結果嘛,一次成功!

這種方法的核心,是采用了低溫

緩沖層(500

℃左右)替代了AlN緩沖層。這一基于低溫GaN緩沖層的“兩步法”工藝,成為日后工業界生長GaN基LED的標準工藝。

當然了,做出這步改良的理由,也是異常奇怪。中村給出的解釋居然是,別人用過的方法,我不用!

這種“二”的說話方式,成永興也用過!

不就是強詞奪理嘛!

誰不會啊!

你有種!

別人對的方法,你也別用!

第四關,退火工藝。

LED從本質上說是一個二極管,二極管的核心結構是半導體

結。pn

結是由

型半導體(內部含有大量自由電子)和

型半導體(內部含有大量帶正電的自由載流子——空穴)組成的界面。

而言,n型摻雜比較容易實現,但

型摻雜卻十分困難。在

中經常使用的

型摻雜劑是

Mg,但是摻入這些雜質后,GaN

往往仍體現高阻特性,這意味著

型摻雜劑并沒有被激活,沒有起作用。

這個問題曾困惑了科學界很久,最后也是被天野浩解決的。解決方法是用低能電子束輻照方法來獲得pGaN。

這個方法的發現,天野浩也是耗時很久。他從86年起就一直在嘗試,直到89年,才突然碰運氣得到。

在這個步驟上,中村大俠的“二”病再此發作!

他再次推翻了前面科學家的研究成果,改為加熱!

這也就是所謂退火工藝的由來。

根據中村自己的解釋,他是在非常偶然情況下,得到了這個意外結果。

在重復電子束照射實驗前,他不小心把工作臺給加熱了!于是,他就發現,在電子束輻照過程中,在樣品下面加熱可以獲得更好的結果。

對此現象,他又繼續研究,進而確認,僅僅依靠加熱就可以獲得pGaN。而退火工藝的原理,中村大俠并沒有給出合理的解釋。

從此,熱退火就成為了制作藍光LED的標準工藝,沿用至今。

當然了,事情是否真偶然,誰也不知道。

講故事誰不會?

退火工藝的背后原理,在很久以后才被人揭示。

會被MOCVD

外延過程中引入的

鈍化,形成

MgH絡合物。無論是低能電子輻照還是熱退火,都是通過借助外部能量破壞

鍵而激活

雜質。

這兩個工藝步驟的實現,足以說明中村的逆天運氣!

前人耗時五六年的成果,他在很短的時間內,全部推翻,而且找到了更好的方式!

而他發現的這些工藝步驟,即使在三十年后,也無人能改!

有沒有這么一種可能:

這些工藝,之所以無人能改,因為它們實際就是三十年后的成熟工藝!但被提前拿到了1990年!

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