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第630章 造不如買

更新時間:2021-07-12  作者:三分糊涂
既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件臺技術上取得了突破,蘇遠山接下來可就真有點坐不住了。

但他太了解曲慧了。

這姐妹兒,干練豪爽不說,還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子,那自己怎么問都是沒個結果的。

好在一小時并不長,當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper后,時間便迅速流逝起來。

嗯,主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。

一小時后,曲慧與鄭振川如約而至。

“鄭叔,慧姐,好久不見。”蘇遠山早已在客座沙發旁等著,就連茶都已經準備好了。

“嗯,是有不少時間了。”曲慧出乎意料地留了頭發,還梳了個馬尾,脖子上圍著絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠山對面。

“這下可以說了吧,到底是什么驚喜——別讓我猜啊。”

“其實就是工件臺成了。”曲慧一副云淡風輕的表情,端起茶杯吹了口氣后笑瞇瞇地道:“你猜到了是吧?”

“你和鄭叔一起過來,不是光刻機的事還能是啥?”蘇遠山一攤手,笑道:“讓我干等了一個小時,再驚的喜也給整沒了。”

“害!我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了,周小慧呢?”

“不知道,估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來,她去接待一下。”蘇遠山頓了頓,望向鄭振川:“鄭叔,別告訴我,你們已經將工件臺用在光刻機上了。”

“哈哈,當然沒有。”

鄭振川放下茶杯,沖蘇遠山樂道:“你先聽小曲的,等會我再說。”

“嗯……”蘇遠山聽到鄭振川這語氣,頓時心中多了幾分“警惕”起來。

這老爺子,語氣聽起來不對吶!

感情這次不是單純的“報喜”,似乎還有套等著自己。

不過他依舊不動聲色,整個人放松了姿勢:“曲慧姐,你說,工件臺到底怎么樣了。”

“成了,但有點麻煩。”曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少,此刻也不開玩笑,正色了起來:“你知道的,制約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。”

蘇遠山點頭:“嗯,不用你說,我就算再不懂機械也知道。”

“精度的最大問題又會最終落在電機控制,材料,加工精度上。”曲慧抿著嘴,慢慢道。

“雙工件臺的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來,原理就是把在曝光過程中處于等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件臺曝光,一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢,就可以不用再測量對準,從而直接就可以移動平臺,然后曝光。”

“根據我們的估計,在目前的工藝水平下,采用雙工件臺除了可以提高30以上的效率之外,還可以略微提高精度——別的不說,10起碼有的。”

蘇遠山再次點頭:“然后呢?”

“我們這次取得的突破,是在運動定位模塊和流程控制系統上。”

蘇遠山聽得眉毛一揚!

他哪怕對雙工件臺的設計和原理再不懂,他也知道,實現雙工件臺最困難的地方便是運動定位系統,是真正的“牽一發動全身”“差之毫厘,謬之千里”。

而且蘇遠山還知道,ASML的初代雙工件臺,其實效率并不十分高,只能說略有提升——就是因為控制系統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之后才正式宣判尼康和佳能死刑。

雙工件臺技術真正的成熟,還必須等到磁懸浮技術誕生。只有那樣,才能把誤差縮短到極限。

但一切的前提還是控制系統。

那么……既然都已經取得突破了,還有什么麻煩?

“那麻煩在哪?”

“麻煩在于,我們目前只能實現0.5微米的精度。”曲慧緊縮著眉,凝望著蘇遠山道:“而且,精度越高,摩擦系數和阻尼作用就越強。我有點擔心,它在未來能不能追上光刻機的步伐。”

“我給你坦白吧,目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興,也知道不能潑冷水。但如果工件臺無法用在最先進的光刻機上,那它的意義就少了許多。”

“還有一點,我們目前的工業基礎,只能允許我們做到這個極限。”

蘇遠山沉默地聽著曲慧的介紹,終于明白了她的憂慮在哪。

幾秒后,蘇遠山微笑著搖頭:“曲慧姐,其實你們已經很厲害了。”

他這句話不是安慰人,而是真心這樣認為。

雖然他很少直接去首都精科那邊,但各種支持從來都是不遺余力的。要什么協助給什么協助,就算要機床,他也在前年的時候費盡周折地搞了一臺。

所以,雙工件臺名義上是首都精科一個企業搞的技術,但實際上,卻是一個由原首都精密儀器研究所,遠芯,志遠,清華這四方巨頭聯合進行的一次技術攻關。

從陣容上,這個團隊就已經堪稱豪華了。

要知道,搞機械,特別是精密機械,它不比搞程序設計。

程序設計可以叫囂“只有想不到,沒有做不到”,但機械設計還真是,你能想到,但基本上辦不到。

雙工件臺的構思說白了,就如曲慧所說的那樣,源自華羅庚老先生的統籌方法——就是在等待燒開水的過程中就把茶杯洗干凈,茶葉拿出來丟進杯子里,順便還擰著暖水壺在一旁等著,只要水開,馬上就能泡茶,裝水,一氣呵成。比等水開了再去找茶葉洗茶杯要節約很多時間。

但真要實現起來卻不簡單,畢竟這是兩個工件臺的協同配合,而且要保持高速運動下的0.5微米的運動精度——其難度相當于在兩架并肩飛行的飛機上,其中一架飛機伸出一根桿子,在對面的機身上刻0.5微米大小的字。

至于為什么曲慧會在取得如此的成果后依舊保持冷靜乃至憂慮……蘇遠山完全能夠理解。

因為曲慧剛出校門就進入了遠芯,親自參加了EDA的誕生,又親眼見證了遠芯在各個領域的崛起。

說白了,就是曲慧所參與,所看到的,全是世界頂級的技術成果。

雙工件臺雖然出來了,卻無法給國產光刻機帶來本質上的技術飛躍。

她不甘心。

“這樣,曲慧姐,我給你指一條方向。”蘇遠山不知道雙工件臺技術接下來要具體往哪一邊走,但蘇遠山卻知道雙工件臺的未來在何方。

“嗯?你說什么方向。”

“目前工件臺的最大難點還是在于高速運動下所導致的一系列麻煩,所以……如果要把目光瞄準到十年,二十年之后,瞄準到納米級精度的話,我認為,只有一條路,就是磁懸浮。”

“磁懸浮?”曲慧聞言一怔,直愣愣地望著蘇遠山。

鄭振川也驚訝起來:“小山,磁懸浮能用在工件臺上?”

“不是磁懸浮能用在工件臺上,而是工件臺要擺脫摩擦和阻尼的桎梏,實現超精密運動控制,在現有的自然科學和機械空城的框架下,就只有磁懸浮這一條路。”

曲慧沉默數秒后慢慢點頭,喃喃道:“是了,磁懸浮技術可以最大作用地發揮我們的運動控制模塊的優勢,避開短板。”

“可是,那個難度怕是有點大吧?現在有沒有超精密的磁懸浮運動控制案例和方案?”鄭振川則想了想,遲疑地問道。

“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口氣,整個人瞬間振奮了起來,望向蘇遠山道:“小山,你真覺得那是個方向?”

“我能想到的唯一方向。”蘇遠山鄭重點頭。

有了新方向的曲慧再無心交談,轉而去蘇遠山的書架翻了一本物理書來看。

見曲慧這模樣,蘇遠山也在心里暗暗發笑——曲慧別看已經三十歲了,可長期以來身處科研一線,身份身家都無與倫比,以至于心態還是小姑娘心態。

“鄭叔,怎么說?”蘇遠山起身給鄭振川斟滿茶水,笑呵呵地問道:“你別告訴,你是來推銷光刻機的。”

“嗯,還真是。”鄭振川從剛才蘇遠山口中的磁懸浮工件臺的設想中回過神來,笑著道:“我們拿到了蔡司的鏡頭和Cymer的KrF光源,接下來就能量產最低0.18微米工藝節點的光刻機了。”

“我靠!”

蘇遠山眼珠子一瞪,差點沒從沙發上彈起來:“怎么拿到的?”

“呵呵,別激動。”鄭振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么樣,要不要來兩臺?”

“等等!”蘇遠山馬上便清醒過來:“別拿空頭支票來忽悠我,先說清楚,什么時候可以可以出廠。”

“最多半年。”

聽到這個半年,蘇遠山又默默地算了一下自家光源的時間,這才慢慢平靜下來,笑著罵了一句:“NND,帝國主義亡我之心不死。”

“是啊……但這樣好歹能把咱們的光刻機與尼康佳能的距離縮到只有一代了,對吧?”

“嗯,這倒是。”

蘇遠山含笑望著鄭振川,突然越看越覺得這老頭有點像“買辦”了。

很顯然,在這個時候,蔡司和Cymer突然對國產光刻機放行,除了有霓國同行的競爭之外,還有就是有把國內的光源和鏡頭技術“扼殺”在搖籃的想法。

要知道,他們給的光源和鏡頭,可不是最先進的……

Cymer都已經搞出193的ArF了,正在想搞EUV或者F2呢。

“不過鄭叔,我們已經預定了尼康最先進的DUV光刻機,他們的節點可是能夠到65納米。”蘇遠山一聳肩,呵呵笑道:“差不多半年。”

“……”鄭振川便帶著一臉哀怨地看著蘇遠山:“當初你說好要支持的呢?”

“我當然一直都是支持的,但這事兒我做不了主啊鄭叔。你不應該找我,而是應該去找德遠的張博士。”

說著蘇遠山便疑惑起來:“不對,鄭叔……無錫那么多晶圓廠,為什么你不去找他們?”

遠芯在光刻機,晶圓廠的戰略方向一直很明確,就是以保持制程和工藝的領先——換言之就是設備上不能落后。

光刻機自然要支持,甚至還要大力支持。但錢可以出,在有選擇的情況下,買一堆落后的產品,這事兒卻是不能干的。

國家也認同遠芯的發展,因此從來把希望寄托在遠芯身上,繼而讓華晶,華鑫,首晶等新老國有控股的晶圓廠大力采購國產光刻機,用以扶持。

所以鄭振川找蘇遠山,是沒找對門。

“因為每個企業都有追求。”這時曲慧抬起頭,悠悠地來了一句。

蘇遠山便望向鄭振川,只見后者的表情已經變得苦澀了起來。

鄭振川沉默幾秒后,發出了一聲輕嘆:“國外同行在今年開了不少口子,國內的晶圓廠,只要有錢,基本上都能買到KrF的光刻機……”

“現在國家上上下下都在講市場化,就算上面再支持我們,也不可能說強制下行政命令讓企業只買我們的光刻機吧?”

“而且……我們的光刻機……確實,我承認,穩定性比起國外同行差了一點。但我們起步晚,這是很正常的,總要給我們一點時間進步和完善,對吧?”

“現在倒好,隨著國外解禁,國內企業又開始有錢了……再加上國家一直在推動無錫那邊的產業升級,成立了以華晶為首的半導體聯盟。旨在提高整個國內半導體行業的元器件自產率和制程升級……所以,我們在目前落后兩代的情況下,確實有點難搞。”

“現在無錫那邊,已經有人在詆毀說咱們的光刻機這不行,那不行……還不如多花點錢買ASML和尼康佳能。”

“在那些人眼里,晶圓廠就是印鈔廠,光刻機就是印鈔機,就算再貴,只要夠先進,能穩定運行,那印到后面就是印的鈔票。”

靜靜地聽鄭振川說完,蘇遠山意識到,歷史的走向已經完全改變了。

但有一樣還是沒變。

造不如買的思想沒變。

——事實上,造不如買不僅僅是一種思想,而是一個持續在整個工業化進程中的現象。

原因很簡單,機械設備領域,確實不如別人。

工欲善其事,必先利其器。

哪怕它再貴,穩定性和效率依舊壓倒一切。

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