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第391章 那些光刻機的往事

更新時間:2021-07-08  作者:我的金步搖
沙瑞勒·內維爾喝著手里拿著的咖啡,看著電腦新聞網站,最近那鬧的沸沸揚揚的到底誰抄了誰的新聞.

搖了搖頭,笑著把電腦上相關的網頁全都關閉了。

這東西,誰抄誰有什么好爭的,誰先生產出來,誰先申請專利,那就是誰的,國際上不都是這么操作的嗎?這些媒體也無聊,這東西也有什么值得爭的?

從視頻上來看,那個華國的騙子不就隨便弄了點軟件在電腦上運行了一下而已,而這邊米國的腰子科技公司,連樣品都拿出來了,要知道,兩個月不到的時間可不能把那些說出來的科技與系統上的設想完善,這么一對比。

那誰抄誰的不是一目了然嗎?

再說了,華國有這種科技實力,研發這么高級的東西嗎?

他們不一直喜歡偷買一些別人家的產品,把上面的LOGO打磨掉冒充自家的產品嗎?

“哼——”

還是自家的產品好——光刻機。

這種高端的東西,就算華國的那些垃圾如何想來碰瓷都不行,這就是人類歷史最頂級的科技與技術,讓那些想碰瓷垃圾感到絕望。

沙瑞勒·內維爾他是A斯麥公司,下一代產品的項目總工程師。

得益于,灣積電一個叫做林奔堅的鬼才工程師出現了,讓A斯麥押注的沉浸式光刻機成功的使得原有的193nm激光經過折射,直接越過了157nm的天塹,降低到132nm。

把原本世界上的光刻機霸主,櫻花的N康與J能踩在了腳下。

當然,如今幾者差距還不算大。

A斯麥,還在小心翼翼,加大科研的投入。

想要把這個差距擴大。

擴大到讓全世界都死心的地步。

為此,這家公司,受到了全歐洲最大的科研經費的投入。

如今的人均科研經費甚至排在了全歐洲第二位,遠高于其他企業,甚至是軍工企業。

從這點上便可以看出,整個歐美對這項技術的支持。

不過想起了,櫻花。

沙瑞勒·內維爾也只是微微的為他們惋惜了一陣而已。

身為項目內的人員,他更清楚這些年因為光刻機,歐米這邊所干的陰暗往事。

其實,造成如今這一切的并不止是簡簡單單兩千年初踏錯了干刻濕刻之分。

更像是一場有預謀的陰謀。

早于1997年,在米國政府一手干預下,尼康被EUVLLC排擠在外時,這已經注定了如今光刻機市場A斯麥一家獨大的結局。

前面提到,當年為了嘗試突破193nm,英特爾更傾向于激進的EUV方案,于是早在1997年,歐米那邊就聯合起來成了了一個叫EUVLLC的聯盟。

聯盟中的名字個個如雷貫耳:除了Y特爾和牽頭的M國能源部以外,還有M托羅拉、AMD、IBM,以及能源部下屬三大國家實驗室:L倫斯利弗莫爾國家實驗室、S迪亞國家實驗室和L倫斯伯克利實驗室。

這些實驗室是米國科技發展的幕后英雄,之前的研究成果覆蓋物理、化學、制造業、半導體產業的各種前沿方向,有核武器、超級計算機、國家點火裝置,甚至還有二十多種新發現的化學元素。

于是,資金到位,技術入場,人才云集,但偏偏聯盟中的米國光刻機企業SVG、Ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落,根本爛泥扶不上墻。

本來英特爾想拉來尼康和A斯麥一起入伙,并不想A斯麥一家獨大。

但問題是,這兩家公司,一個來自櫻花,一個來自何蘭,都不是米國本土企業。

而偏偏,米國政府又將EUV技術視為推動本國半導體產業發展的核心技術,并不太希望外國企業參與其中,更何況八十年代在半導體領域壓了米國風頭的櫻花,甚至可以這么說,如今的華國有多想要光刻機,當年的米國就多想要光刻機。

光刻機又幾乎逼近物理學、材料學以及精密制造的極限。

光源功率要求極高,透鏡和反射鏡系統也極致精密,還需要真空環境,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高。

別說櫻花與何蘭,就算是米國,想要一己之力自主突破這項技術,也是癡人說夢。

米國自然不會想讓櫻花投誠然后,繼續扼住米國半導體咽喉的機會。

于是在一份提交給國會的報告之中,專家明確指出“尼康可能會將技術轉移回櫻花,從而徹底消滅米國光刻機產業”。

櫻花是敵人,但何蘭還是有可能發展成自家的“漂亮國好同志”。

當得到這個消息,何蘭A斯麥,第一時間就表示了自己誠意,同意在米國建立一所工廠和一個研發中心,以此滿足所有米國本土的產能需求。另外,還保證55的零部件均從米國供應商處采購,并接受定期審查。

一見小弟這么給力,米國那邊直接不要臉了,

開啟了更為厲害的騷操作。

廣場協議,櫻米半導體協議,直接加增100的關稅等等一系列損招全都用了出來。

可櫻花只能含淚,牙齒掉了往肚里咽,全都答應了下來,沒辦法,自家老窩都在別人的炮管之下,那有它蹦跶的份,不過這也讓櫻花心里其實是憋了一口老血想噴的。

最終,米國能源部和A斯麥達成了協議,允許其加入EUVLLC,共同參與開發,共享研究成果。

之后的六年,EUVLLC的研發人員發表了數百篇論文,大幅推進了EUV技術的研究進展,割地求和的A斯麥雖然只是其中的小角色,但也有機會分得一杯羹。

分享技術只是一方面,收購走后門其實也是米國送給A斯麥的一份大禮。

之后米國的Cymer公司研發出EUV所需的大功率光源,成為A斯麥的供應商,更在四年后以25億美元高價直接被阿斯麥并購。

別忘了,這可是光刻機的核心零件,這樣頂尖的技術,全球范圍也不超過三家。

毫不夸張的說,A斯麥雖然是一家何蘭企業,但崛起的背后,其實是一場地地道道的米國式成功。

錯而失EUV關上了尼康光刻機的大門,加上諸多盟友的背叛則徹底焊死了尼康想要突圍的出路。

說實話,當年的英特爾為了防止核心設備供應商一家獨大,其實還是挺想帶著尼康一起玩的。

32nm工藝制程時甚至獨家采用尼康的光刻機,而之前的45nm,之后的22nm,也都是尼康和A斯麥同時供貨。就連在2010年的LithoVision大會上,英特爾還宣布將一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm節點。

但備胎終究是備胎,一轉身,英特爾就為了延續摩爾定律的節奏,巨資入股A斯麥,順帶將EUV技術托付。

另一邊,相比一步步集成了全球制造業精華的A斯麥,早年間就習慣單打獨斗的N康在遭遇米國封鎖后,更是一步步落后,先進設備技術跟不上且不提,就連落后設備的制造效率也遲遲提不上來。

當年,相同制程,A斯麥宣稱“每小時可加工175~200片晶圓”,而尼康的數據是“每小時200片”。

但果真如此嗎?這背后涉及到了一個叫做稼動率的制造業名詞。簡單理解為一臺機器設備實際的生產數量與可能的生產數量的比值。

使用A斯麥的設備,三星與臺積電的稼動率常年維持在95上下.

而這邊尼康,被迫自研,什么零件都要自己做,但什么東西卻總有是差點意思。

導致同一批次的相同設備,每一臺的性能都不盡相同。

簡單來說,就像買了二十臺手機,這臺只能發微信,那臺只能刷視頻,另一臺開網頁……

設備雖便宜,但稼動率最多只能達到50左右,對晶元代工廠來說,實在不劃算。

因此,英特爾新CEO上任后,立刻拋棄了尼康,甚至后來就連大陸的芯片代工廠都看不上N康的光刻機,就可想而知,N康的發展有多么的沒落,最終N康只能慢慢退出芯片光刻。

生產出的設備,只能賣給S星、LG、J東方,用來生產面板。

這邊舊人哭,那邊新人笑,2012年,Y特爾連同S星和灣積電,三家企業共計投資52.29億歐元,先后入股A斯麥,以此獲得優先供貨權,結成緊密的利益共同體。

站在EUVLLC的肩膀上,背靠米國支持,又有客戶送錢,A斯麥自此正式成為“全村人的希望”,在摘取EUV光刻機這顆寶石的道路上,一路孤獨的狂奔。

終于,在2015年,第一臺可量產的EUV樣機正式發布。

正所謂機器一響,黃金萬兩,當年只要能搶先拿到機器開工,就相當于直接開動了印鈔產線,EUV光刻機也因此被冠上了“印錢許可證”的名號。

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