張如京說,“下一代的芯片生產工藝我們已經在著手研發了,只不過這個肯定是需要一個時間過程的,估計沒有那么快。”
“我們現在使用的光刻機,是全球最先進的193納米波長光刻機,跟臺積電的是一樣的。”
說到這里,張如京思考了一下,“這就相當于大家都是雕刻人,使用的工具都是差不多的,最后做出來的產品質量好壞,精密度……靠的就是手藝水平的高低了。
想要生產下一代45納米的芯片,就目前的設備來看,我們能做的,就是提高手藝,至少在明年我們能夠突破60納米吧。”
張如京抿了一口酒,臉色微紅。
“現在中芯國際有幾種方式可以提升芯片的精細度,一種就是通過多重曝光的方式,來獲得精細度更高的芯片。”
“欸?”曹陽猛然抬起頭來,感覺有些震驚。
因為這種技術他在前世都沒怎么聽說過。
還有這種技術的嗎?
“這種方式的確可以制造出45納米,甚至更低納米級別的芯片,不過缺點很明顯,”張如京說,“多重曝光,對于技術的要求是呈幾何指數增長的。
你就相當于在做微雕刻的時候,要在同一個地方連續下刀,而且每一刀都得無比精準。
這是非常困難的事情,同時因為多重曝光,良品率肯定會急劇下降,導致生產成本增大,我估計我們即使能超過臺積電,生產出30,20納米的芯片,可這樣的一塊芯片想要出售給博米的話,也許價格上面就要高達1000多,甚至2000塊錢,估計你們也很難承受。
難以量產,這是目前多重曝光遇到的最大難題,不過我們也在摸索之中,也許過幾年我們的多重曝光技術就能取得突破,到時候進行量產也說不定。”
唔……
曹陽托著下巴,陷入了思考之中。
其實他在計算一個問題——
現在中芯國際給博米這邊的芯片是90nm,一片380塊錢,提升到1000塊錢一片45nm,甚至30nm的話,我們好像還是有得賺的,把價格再進行一些提升,通過降維打擊,靠芯片碾壓蘋果建立優勢以后再反向推動芯片制造呢?
這條路是否行得通?
“還有一種,”張如京今天有些興奮,笑著繼續說到,“浸潤式技術,在光刻機投影物鏡最后一個透鏡的下表面與硅片上的光刻膠之間填充高折射率的液體。
臺積電現在使用的就是這種光刻方式。
想起來也很有意思,4年前,臺積電林本間提出來浸潤技術的時候,業內還對此嗤之以鼻,認為這是一種不可能實現的技術方式。
不過到兩年前,他們的浸潤式技術就研究成功了,我們現在因為沒有具體的制作流程和技術,只能靠自己摸索。”
曹陽對此還是有些印象的。
臺積電之所以跟其他大廠拉開差距,最重要的原因就是在于林本間發明的浸潤式光刻技術。
在這項技術出現以前,世界在微影領域的老大可是東島的尼康,當時林本間提出來浸入式技術的可行性的時候,相當于打了尼康和IBM一眾世界級大佬們的臉。
因為他們還在研究如何使用X光來進行光刻,因為X光比深紫外線的波長更短,可是林本間告訴他們,其實沒有那么復雜,在現在的深紫光DUV光刻機的基礎上,加一點水浸潤一下,通過折射角度的變化就能制造出精細度更高的芯片。
這無疑告訴他們,你們走的路是錯的。
IBM和尼康如何能忍受這一點?
都已經投入了幾十上百億美元的研發資金了,突然被人質疑。
任何一項顛覆式新技術的出現,總會受到來自于傳統勢力巨大的阻力。林本堅的浸潤式光刻,幾乎被尼康、佳能、IBM等所有巨頭封殺,尼康甚至向臺積電施壓,要求雪藏林本堅。
巨頭的隕落,總是如出一轍。當年柯達最早生產出來了數碼照相機,但是柯達卻因為恐懼數碼相機威脅到自己的膠片業務,做出決定——一定要藏好,不能讓別人知道。
尼康的智商,在巨大的現有經濟利益前消耗殆盡。
雖然現在尼康仍然占據著龍頭老大的位置,但是曹陽知道,在不久后的將來,等到臺積電的45納米出現,阿斯麥光刻機在市場占有率上就會將尼康拉下馬,讓一個巨頭隕落。
現在其實已經隱隱然有這種苗頭了。
目前中芯國際雖然知道林本間采用了浸潤式技術幫助臺積電在60納米以下取得了重大的突破,不過具體的做法和工藝技術,中芯國際是不知道的。
所以現在也是在摸著石頭過河的階段。
“浸潤式技術從原理上來說并不復雜,不過還是那個問題,需要時間。”張如京有些愁悶地喝了一口酒,難受地說到,“我們正在嘗試使用浸潤式技術,明年提升到60納米水準應該不成問題。”
使用浸潤式技術進行芯片制作,就不需要進行多重曝光,良品率是有保障的,生產成本應該跟現在的90納米芯片差不多。
所以即使明年博米沒有45納米的芯片,也能從中芯國際這邊購買到60納米。
不過曹陽肯定不會就此滿足,博米的芯片設計還得繼續深挖,要一直保持對蘋果的領先,那么之后肯定要先引入臺積電的45納米芯片。
除非中芯國際能夠彎道超車。
如果想要實現技術上的突破,超過臺積電的話,還得從光刻機本身進行突破。但是我們國家目前為止,并沒有能夠獨立生產光刻機的企業,準確來說是沒有獨立生產193納米,甚至更短波段的光刻機水平。
現在是2006年,在光刻機領域當中,東島的尼康才是老大,而未來的光刻機王者阿斯麥Amsl還沒有崛起,第一臺EUV光刻機要到2012年才能生產出來。
從時間上來說,或許我們還有機會。
至少曹陽是這么想的。
“浸潤法是通過改變光的折射來達到更短光波的目的對吧?”曹陽問到。
“對。”張如京笑了笑,“這是個初中物理題,折射光的波長,等于入射光波長除以折射率,折射率越大,那么最后的折射波長就越短。
現在浸潤式光刻技術就是通過提升入射介質的折射率和折射角度來分離短波長,從而能夠提升芯片的精細度。”
想到這里,曹陽微微一笑,“那為什么不直接采用更短波長的光呢?”
張如京搖了搖頭,“不行的,因為之前IBM已經研究過了,X光波對于現在深紫外光來說波長更短,但是在這種情況下,水介質對于X光的折射效果很差,當光達到一定的波長之下,水對于它們來說就不是完全透明的了,就會產生遮擋和噪影,這是沒有辦法解決的事情。”
“不是,我的意思是,不采用浸潤光刻技術,而是干式光刻,但是將光波長縮短到兩位數。”曹陽說。
“哈?!”
不只是張如京,在座的各位大佬們都是一副見了鬼的表情。
倪光南、劉強這些本身就是做芯片出身的,華為任總雖然沒有從事這方面的技術研發,不過也是略知一二,而且芯片對于整個高新領域來說,就相當于心臟,是不可或缺的東西,怎么著也會跟芯片打交道,沒有做過也大概有所了解。
這……
要知道現在能夠生產出193納米的深紫外光就已經是極限了,深紫外光最多能提升到157nm。
如果采用浸潤法,用純凈水作浸沒液,其折射率為1.44,因此等效波長便從193nm降到了134nm(193nm/1.14134nm),分辨率也因此提高了,工藝節點可以向4522nm邁進。
現在曹陽居然說使用兩位數,也就是低于100納米的波長光源,這簡直就是天方夜譚。
所以張如京愣了一下,笑了起來,“如果真的有這種光源的話,我們能生產出個位數納米級的芯片。”
那個時候,帶來的芯片處理性能的提升可以說用飛躍來形容。
“是啊,現在國內連穩定的深紫外光都造不出來,去哪里弄那么短波長的光源啊?”倪教授也跟著說。
嗯……
現在不但中國沒有,國外也沒有,要到2012年ASML收購Cymer這家頂級光源公司之后,光波波長短到13.5nm的極紫外穩定光源才會出現。
這對于全世界來說都是一個難題,同時也就意味著機遇。
只不過現在曹陽有沒有辦法把握而已。
曹陽現在的印象很模糊,畢竟前世他也不是學這些專業的,只是因為20年前后華為被制裁事件,讓他了解到不少關于光刻機的知識,也僅僅是一知半解,對某些原理只懂得字面上的意思,停留在比較理論的層面,具體的內容他就完全不懂了。
不過……
他覺得可以等過幾天去母校問一下,如果曹陽沒有記錯的話,其實到2021年我們國家清大已經能夠自主研發出穩定的極紫外光了。
比AMSL也就落后了10年不到的時間。
“哈哈哈,只是有這個設想而已,沒有想過具體該怎么實現。”
曹陽只是笑了笑,沒有再繼續這個話題,等他真的能找到解決方案,再拉上大佬們一起聯合研發,感覺是比較可行的。
大家再聊了一會兒,眾人對博米的智能手機都抱有很高的期望,對博米以及未來智能手機產業的前景非常看好。
差不多到晚上9點左右,眾人這才散席。
曹陽一個個送大佬們上車。
最后在送別張如京的時候,曹陽猶豫了一下說到,“張總,我聽說最近臺積電跟中芯國際的官司好像挺嚴重的,是不是有這么一回事啊?”
張如京愣了一下,臉上泛出一片愁云。
就曹陽看來,中芯國際目前最大的麻煩在于官司纏身,張如京一直在被臺積電控告其侵犯知識產權。
因為就設備來說,中芯國際目前跟臺積電使用的都是一樣的DUV光刻機,差別只是在于浸潤式技術以及制作工藝上面。
如果前世沒有因為臺積電的控告導致張如京離開中芯國際,之后中芯國際進入群龍無首,內耗非常嚴重的時代,而是一心一意地進行科技研發,那么指不定能趕上臺積電呢?
中芯國際這家企業真的是命途多舛,創始人張如京一直官司纏身,根本沒法做到全心全意地投入技術開發。
后來,張如京離開中芯國際之后,中芯遭遇諸多悲情,創始人離開,老團隊分崩離析。而大唐期間借助大股東地位,玩起權力游戲。
可以說如果少一些折騰的話,中芯國際在芯片制造的水平上面,應該不至于到后面落后那么多年。
“是啊……”張如京有些沮喪地苦笑了一下,“這都是跟臺積電的老恩怨了,估計得等我離開中芯國際他們才會罷休的。”
“那可千萬不要,”曹陽趕緊說,“中芯國際需要你,給中芯國際一個穩定的開發環境比什么都重要。”
“是啊……”張如京感嘆著說。
可這有什么辦法呢?
他們又不是主動打官司的一方,臺積電告他們侵犯知識產權,其實之前大家都已經達成了和解,中芯國際支付臺積電1.75億美元,達成10年內的雙方專利交換協議,沒有想到臺積電這么快就翻臉不認人,今年又重新提起訴訟,告中芯國際侵權,這讓張如京倍感焦慮。
臺積電和中芯國際的恩怨糾葛由來已久,主要是因為張如京在半導體行業的資歷和人脈,讓臺積電非常忌憚,同時張如京掌握著許多臺積電成熟的生產技術,而且在他到大陸創建中芯國際的時候,從臺積電帶走了一批核心班底。
所以基本上張如京不離開中芯國際,臺積電是不會善罷甘休的。
第一次臺積電對中芯國際的訴訟是在2003年12月,距離中芯國際成立3年多。
臺積電、臺積電北美子公司以及WaferTech公司共同宣布,于美國當地時間19日下午在北加州聯邦地方法院,對中芯國際以及中芯國際美國子公司提出多項專利權侵害訴訟。
臺積電在訴狀中指稱,中芯國際通過各種不當的方式取得臺積電商業秘密及侵犯臺積電專利,如已延攬超過100名以上臺積電員工,且要求部分人員為其提供臺積電商業秘密。
同時臺積電也稱一位中芯國際主管要求一位前臺積電經理為其取得半導體制程技術資料,已嚴重侵害公司營業秘密。
這一次訴訟經過不到兩年時間,2005年2月,臺積電與中芯國際達成和解,臺積電稱它已經同中芯國際就專利侵害和相關爭議問題糾紛達成庭外和解協議。
按照協議內容,中芯國際將向臺積電支付大約1.75億美元,從而和解所稱的專利和商業秘密訴訟案。
然而在和解1年以后,臺積電再次對中芯國際提起訴訟,訴訟中說中芯國際違反與臺積電達成的和解協議,使用不法手段盜用公司商業機密。
臺積電請求法院判決中芯國際立即停止相關侵權行為,同時賠償臺積電的相關損失。
但是,在上一次的和解協議當中,臺積電和中芯國際就已經明確了雙方的利益交換以及互相的專利授權內容,這個時候還被緊咬著不放,除了一部分臺積電對張如京的恩怨之外,幕后沒有一只黑手在操控,曹陽是不信的。
因為對于半導體行業來說,芯片是重中之重,很多高精尖產品都依賴于芯片。
有些國家不太希望中國的芯片崛起,所以一定要不惜一切代價進行打壓。
前世的時候,也正是因為2006年這一次訴訟,一直持續了3年多的時間,一直到2009年才再次達成和解。
按和解協議內容,中芯國際將向臺積電分期四年支付2億美元現金,并向臺積電發行17.89億股新股,約占中芯國際10月31日已發行股本的約8,并授予臺積電可按照每股1.3港元的認購價,認購6.95億股中芯國際股份(可予調整)的認購權證,可自發行起三年內行使。
股份發行生效后,臺積電將獲得中芯國際已發行股本合共約10股份。
張如京徹底離開中芯國際,由副手邱慈云擔任ceo以后,中芯國際才稍有好轉。
這場戰爭,給中芯國際帶來了不少的打擊。
本來生產吃緊,每年的收益在臺積電的擠壓下就比較有限,加上各種賠付和官司,讓中芯國際深陷泥潭無法自拔,導致越來越落后。
曹陽不希望這一世還是這么一個收場,所以有心想要拉張如京一把。
“你知道嗎?”曹陽壞笑著說,“有時候,該依靠的就得依靠,既然中芯國際在中國上海,那么有一點我不太明白,為什么我們的官司要到米國去打?”
一個被米國在背后把持的臺積電,到米國打侵權官司,中芯國際不是穩輸的局嗎?
如果中芯國際后面有國字頭進入,那么從國家層面來打這場官司的話,搞不好還有贏的希望。
即使以后張如京真的要退了,那么國家也會想盡一切辦法保證中芯國際的穩固發展的。
“欸?”聽到曹陽的話,張如京眼睛一亮。
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